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WHW光机科技有限公司
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YR PrismScan 632棱镜耦合仪632.8nm干式耦合M‑line测试仪
YR PrismScan 632棱镜耦合仪整机 YR PrismScan632光路布局 YR PrismScan632软件界面
YR PrismScan 632棱镜耦合仪简介

基于棱镜耦合 M-line 测量原理，采用干式耦合方案，无需耦合液，集成 He-Ne 激光光源、偏振控制系统、高精度角度扫描机构、光电探测单元与自研分析软件，可完成块体材料折射率、单层薄膜折射率与厚度、波导有效折射率、TE/TM 偏振模式一体化检测，完整留存角度-光强原始耦合曲线，实现测量可视化与数据全追溯，为光学材料、功能薄膜、平面集成光波导的科研研发、工艺验证提供可靠的测试解决方案。

一、核心测量能力

  • 块体折射率 n：适用于透明或低吸收光学玻璃、晶体及其他块体材料。
  • 单层薄膜 n / d：在满足模式与模型条件时，联合分析薄膜折射率与厚度。
  • 有效折射率 Neff：根据导模耦合位置计算模式有效折射率。
  • TE / TM 模式：支持偏振切换与模式对比分析。
  • 自动角度扫描：完成扫描、信号采集、特征识别和结果计算。
  • 干式机械耦合：无需耦合液，样品装夹与日常测试更便捷。
  • 原始曲线保留：完整保存 Angle–Voltage / M-line 数据与识别结果。
  • 标定与配置管理：支持标准样品标定、棱镜参数配置及测量状态管理。

二、产品应用

光学玻璃与晶体 K9 / BK7、N-BK7、熔融石英、石英玻璃、高硼硅玻璃、冕牌玻璃、火石玻璃、蓝宝石、YAG、GGG、LiNbO₃、LiTaO₃、CaF₂、MgF₂、ZnS、ZnSe 等透明或低吸收块体材料。
可表征参数：折射率 n、不同偏振条件下的光学响应与材料一致性对比。
光学薄膜与功能薄膜 SiO₂、Si₃N₄、AlN、AlScN、Al₂O₃、TiO₂、Ta₂O₅、HfO₂、MgF₂、ZrO₂、ZnO、ITO、AZO、FTO、PMMA、光刻胶、树脂及其他透明或弱吸收单层介质薄膜。
可表征参数：薄膜折射率 n、膜厚 d、有效折射率 Neff 与 TE/TM 偏振相关参数。
平面光波导与集成光子 玻璃、聚合物、SiO₂、Si₃N₄、AlN、AlScN、LiNbO₃、TiO₂ 等平面波导及介质波导结构。
可表征参数：Neff、导模位置、模式阶数、TE/TM 模式、波导层折射率与膜厚分析。

三、技术参数

1、测量原理 棱镜耦合 / M-line 测量；
2、标准工作波长 632.8 nm（He-Ne）；
3、光源 He-Ne 激光器；
4、偏振方式 TE/TM 双偏振切换；
5、扫描方式 自动连续角度扫描；
6、探测方式 光电探测；
7、块体折射率测量 支持；
8、单层薄膜折射率、厚度联合分析 支持；
9、有效折射率 Neff 计算 支持；
10、折射率测量精度 ±0.001；
11、折射率重复性 ≤0.0005；
12、薄膜膜厚测量范围 0.5 µm ~ 150 µm；
13、薄膜分析能力 支持单层薄膜 n / d 联合分析
14、数据输出 测量结果保存、原始数据导出
15、软件平台 自主研发测量软件

四、软件系统

自主研发智能测量软件，集设备控制、数据采集、自动识别、参数计算与结果管理于一体，可实时显示测量曲线和关键参数，自动完成特征识别与结果分析，并支持历史数据保存、查询与导出，便于进行结果对比、数据追溯及后续分析，提高整体测量效率与使用便捷性。

 
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