该方法使用高频电感耦合等离子体作为光源，非常适用于溶液样品的分析。由于近些年样品分析数量和元素分析种类的增加，ICP以其速度和正确度受到了高度关注。在JIS、ISO标准和日本水供应法中，ICP作为标准分析方法被广泛采用。该仪器可以同时测定痕量元素和高含量元素，既可以用于研发，也可以用于产品控制的自动分析和环境领域水质监测。
双顺序扫描型单色器装置确保尖锐的谱线和稳定性：
这是一款高性能的ICP发射光谱仪，配置了顺序型双单色器，拥有高分辨率及快速的特点，并且提供了多种的进样系统。仪器易于操作，适用于研发和质量控制。
高分辨率（0.0045 nm）：
高分辨率可满足金属、稀土和土壤分析的要求，可对目标分析物提供精确至痕量水平的高分辨率分析，并且不受干扰物质或者主要成分的影响。
真空型光室可提供长期稳定的测量：
真空光室可对S, B, I, Al和其他在真空紫外线区域拥有超高灵敏度分析线的成分进行高灵敏度分析。由于不需要气体吹扫，因此可减少气体对流时的波动和污染。所需稳定时间短，并能确保长时间分析的稳定性。
简单分析：
分析铁中的锌和砷。
登记样品名称并用已设定好的分析条件开始分析。分析条件很容易改变，并可设置到常规条件中。分析结果可用商业软件以报告的形式打开。